🔬 반도체·첨단과학

반도체 공정·이미지 센서·전자현미경

시뮬레이션

포토리소그래피 7단계

세정→산화→도포→노광→현상→식각→제거 · 수율·산화막·해상도(R=k₁λ/NA)를 슬라이더로

조절← 이전 · 다음 → 단계 이동
관찰웨이퍼 단면이 단계마다 바뀌는 모습

CCD 이미지 센서

광전 효과·3상 전하 전송(CTE)·출력 앰프·프레임 읽기

조절빛의 세기(화면 안내 따라 진행)
관찰전하 축적과 버킷 브리게이드 전송

전자현미경 (TEM/SEM)

드브로이 파장·TEM 투과·SEM 주사·두 현미경 비교

조절원리·TEM·SEM·비교 탭 선택
관찰전자 빔이 시료를 통과·주사하는 과정